特許
J-GLOBAL ID：200903055233932650

研磨ホイール

発明者：
高田 和幸

高田 和幸 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-200621
公開番号（公開出願番号）：特開2001-025974
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：
【要約】【課題】 円形基板の外周に、アルギン酸ナトリウム等の比較的強度が弱い母材により固められた砥石を配設した研磨ホイールであって、研磨時に高速回転に耐えられるように構成する。【解決手段】 円形基板の外周端部に砥石を保持する凹部を円周方向に沿って形成する。この円形基板の凹部に、砥石が外周端面を除き埋まった状態でリング状に配設される。砥石は、二酸化珪素を主成分とした砥粒をアルギン酸ナトリウムによって固めた砥石か、又は電気泳動法によって固めた砥石とし、接着剤を介して前記凹部に配設する。被加工物は特に半導体ウエーハとし、その外周を前記砥石の外周端面に設けた研磨溝に係合して研磨する。研磨時には研磨ホイール及び被加工物を回転させながら研磨する。
請求項（抜粋）：
円形基板と、この円形基板の外周に配設される砥石とから構成された研磨ホイールであって、前記円形基板の外周端面には砥石を保持する凹部が形成されており、この凹部に砥石が埋まった状態で配設されている研磨ホイール。
IPC (3件)：
B24D 5/00 ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/02
FI (3件)：
B24D 5/00 P ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/02 Z
Fターム (14件)：
3C063AA02 ,  3C063AB03 ,  3C063BA24 ,  3C063BB01 ,  3C063BB04 ,  3C063BB15 ,  3C063BC01 ,  3C063BG05 ,  3C063BH07 ,  3C063CC30 ,  3C063EE10 ,  3C063EE15 ,  3C063EE40 ,  3C063FF30
引用特許：
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM