特許
J-GLOBAL ID：200903055244235187
セラミックグリーンシート積層装置及び積層方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北條 和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-098305
公開番号（公開出願番号）：特開平11-277518
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：
【要約】【課題】 セラミックグリーンシートbの積層工程において、セラミックグリーンシートbの間に残留した空気を完全に除去することが可能であり、これによってセラミックグリーンシートbの間の残留空気を原因とする積層電子部品のデラミネーションの発生を抑える。【解決手段】 セラミックグリーンシート積層装置は、セラミックグリーンシートbを保持し、搬送するキャリア11と、このキャリア11によりセラミックグリーンシートbの供給を受け、それらセラミックグリーンシートbを順次積層する下金型22と、この下金型22の内部に積層されたセラミックグリーンシートbを加圧する上金型12と、セラミックグリーンシートbを積層する下金型22の内部を負圧にする減圧手段とを有する。セラミックグリーンシートbをキャリアで保持して下金型22へ搬送し、この下金型22の内部で、供給されたセラミックグリーンシートbを順次積層すると共に、下金型22の内部を負圧としながら、積層されたセラミックグリーンシートbを上金型12により加圧する。
請求項（抜粋）：
複数枚のセラミックグリーンシート(b)を積み重ね、これらセラミックグリーンシート(b)をその積層方向に加圧して圧着させるセラミックグリーンシート積層装置において、セラミックグリーンシート(b)を保持し、搬送するキャリア(11)と、このキャリア(11)によりセラミックグリーンシート(b)の供給を受け、それらセラミックグリーンシート(b)を順次積層する下金型(22)と、この下金型(22)の内部に積層されたセラミックグリーンシート(b)を加圧する上金型(12)と、セラミックグリーンシート(b)を積層する下金型(22)の内部を負圧にする減圧手段とを有することを特徴とするセラミックグリーンシート積層装置。
引用特許：
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