特許
J-GLOBAL ID:200903055276815738
反射防止膜保護用粘着フィルム、保護フィルム付き反射防止フィルム、及び透明導電性薄膜回路パターン付き反射防止フィルムの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松山 弘司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-072157
公開番号(公開出願番号):特開2001-262088
出願日: 2000年03月15日
公開日(公表日): 2001年09月26日
要約:
【要約】【課題】 透明導電性薄膜回路パターン付き反射防止フィルムの大量生産による低コスト化を可能とする方法を提供すると共に、当該方法において反射防止膜を保護する際に要求される耐熱性及び耐薬品性、特にフォトエッチング法におけるフォトレジストの現像剥離のために用いる処理液及び透明導電性薄膜のエッチングのために用いる処理液に対する耐薬品性に優れる反射防止膜保護用粘着フィルムを提供する。【解決手段】 基材12上に少なくともアルキル基の炭素数が1〜12である(メタ)アクリル酸エステルモノマーと官能基含有モノマーとからなるアクリル系共重合体を硬化剤で硬化せさて耐薬品性に優れるようにした粘着剤層11を設けた反射防止膜保護用粘着フィルム1を用いて、反射防止膜21を保護した後に、裏面の透明導電性薄膜23に回路パターンを形成する。
請求項(抜粋):
基材上に、フォトレジストの現像剥離のために用いる処理液及び透明導電性薄膜のエッチングのために用いる処理液に対しての耐性を有する粘着剤層を設けたことを特徴とする反射防止膜保護用粘着フィルム。
IPC (8件):
C09J 7/02
, B32B 27/00
, G02B 1/11
, G09F 9/00 313
, H01B 5/14
, H01B 13/00 503
, H01B 17/56
, H01B 17/60
FI (8件):
C09J 7/02 Z
, B32B 27/00 N
, G09F 9/00 313
, H01B 5/14 A
, H01B 13/00 503 D
, H01B 17/56 A
, H01B 17/60 A
, G02B 1/10 A
Fターム (86件):
2K009AA02
, 2K009CC03
, 2K009CC06
, 2K009CC14
, 2K009CC24
, 2K009DD02
, 2K009DD03
, 2K009DD04
, 2K009DD07
, 2K009EE03
, 4F100AA20C
, 4F100AA28D
, 4F100AA33D
, 4F100AK01E
, 4F100AK25B
, 4F100AK25J
, 4F100AK42A
, 4F100AK42E
, 4F100AK52B
, 4F100AK52J
, 4F100AL01B
, 4F100AL06B
, 4F100AR00B
, 4F100AR00D
, 4F100AT00A
, 4F100BA02
, 4F100BA04
, 4F100BA05
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10D
, 4F100BA10E
, 4F100EH462
, 4F100EH662
, 4F100EJ08B
, 4F100EJ152
, 4F100EJ302
, 4F100GB41
, 4F100HB08
, 4F100JB01
, 4F100JB20B
, 4F100JG01D
, 4F100JJ03
, 4F100JL02
, 4F100JL13B
, 4F100JM02C
, 4F100JM02D
, 4F100JN01D
, 4F100JN01E
, 4F100JN06
, 4F100JN06C
, 4J004AA10
, 4J004AA11
, 4J004AB01
, 4J004CC02
, 4J004FA04
, 4J004FA05
, 5G307FA02
, 5G307FB01
, 5G307FC06
, 5G307FC08
, 5G307FC10
, 5G323CA01
, 5G333AA03
, 5G333AB13
, 5G333AB22
, 5G333BA03
, 5G333CC09
, 5G333CC20
, 5G333DA03
, 5G333DA21
, 5G333DB02
, 5G333DC02
, 5G333FB01
, 5G333FB02
, 5G333FB11
, 5G333FB21
, 5G435BB12
, 5G435BB16
, 5G435CC09
, 5G435EE12
, 5G435HH12
, 5G435KK05
, 5G435KK07
, 5G435LL07
, 5G435LL08
引用特許:
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