特許
J-GLOBAL ID：200903055286749822
ウェハ支持体用ステージ並びにウェハ搬送システム
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-004791
公開番号（公開出願番号）：特開平10-199958
出願日： 1997年01月14日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】 半導体成長装置に用いるサセプタ用ステージにおいて、サセプタに触れずに半導体ウェハのステージへのセット又はステージからの取り出しを可能にする。【解決手段】 半導体ウェハ28を支持するサセプタ24が載置される引き出し可能な複数の受台23を有し、全体が上下動可能とされたサセプタ用ステージ。
請求項（抜粋）：
ウェハを支持するウェハ支持体が載置される引き出し可能な複数の受台を有し、上下動可能とされて成ることを特徴とするウェハ支持体用ステージ。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/205
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 C
, H01L 21/205
