特許
J-GLOBAL ID：200903055288539450
発光素子及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-253341
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068071
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 有機EL層を挟む一方の電極と他方電極との間にショートが発生するのを防止でき、且つ微細化を図ることができる発光素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 ガラス基板11上に前面電極12を形成した後、発光部に対応する領域を露呈させる開口部13Aを有する層間絶縁膜13を形成する。層間絶縁膜13上に前面電極12と直交する方向にレジスト層14を複数列をなすようにパターン形成する。このレジスト層14は、その側壁が逆テーパ状に形成され、発光部に対応する領域間の層間絶縁膜13より幅狭に形成する。その後、有機EL層15と背面電極材料を順次蒸着してレジスト層14の段差下に有機EL層15と背面電極16Aを形成する。このとき、有機EL層15と背面電極16Aの端縁は、層間絶縁膜13に在るため、前面電極12と背面電極16Aとの間にショートが発生するのを防止できる。また、レジスト層14がリソグラフィー技術でパターン形成できるため、電極の微細化を達成することができる。
請求項（抜粋）：
一方の電極上に、開口部を有するとともに部分的に前記一方の電極を覆う所定の幅の第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜上に設けられた前記第1絶縁膜の幅より狭い幅の逆テーパ状の第2絶縁膜と、前記第1絶縁膜の開口部に対応する一方の電極上に設けられた電界発光層と、前記電界発光層上に設けられた他方の電極と、を有することを特徴とする発光素子。
IPC (3件)：
H05B 33/22
, H05B 33/10
, H05B 33/14
H05B 33/22 Z
, H05B 33/10
, H05B 33/14 A
3K007AB00
, 3K007AB05
, 3K007BA06
, 3K007CA01
, 3K007CB01
, 3K007DA00
, 3K007DB03
, 3K007FA01
