多層膜X線反射鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-033249
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230098
出願日： 1996年02月21日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】X線反射特性と耐熱性を向上させた多層膜X線反射鏡を提供することを目的としている。【解決手段】複数の物質層を周期的に積層した多層膜X線反射鏡において、重元素層1と軽元素層2の中間に中間層3を形成し、中間層3として、少なくとも一つの重元素層1、軽元素層2の構成物質よりも融点の高い物質を使用する。また、中間層3として、少なくとも一つの重元素層1、軽元素層2の構成物質よりも融点の高い、硼素、炭素の少なくとも一種からなる材料を使用する。また、中間層3として、少なくとも一つの重元素層1、軽元素層2の構成物質よりも融点の高い、酸化物あるいは窒化物からなる物質を使用する。さらに、中間層3の厚みを1Å以上とする。

請求項（抜粋）：

複数の物質層を周期的に積層した多層膜X線反射鏡において、上記物質層の各層間に中間層を形成し、上記中間層として、少なくとも一つの上記物質層よりも融点の高い物質を使用することを特徴とする多層膜X線反射鏡。

引用特許：

審査官引用 (1件)

多層膜分光反射鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-010254 出願人：日本電信電話株式会社

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