特許
J-GLOBAL ID：200903055355491441
圧電ジャイロ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-250262
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114457
出願日： 1994年10月17日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】 複雑な製造工程を行うことなく製造工程の簡略化を実現することができる。【構成】 LiTaO3 及びLiNbO3 の少なくともどちらか一方の圧電材料からなる音叉形共振子から構成される圧電ジャイロであって、面内振動を駆動する駆動用電極と面垂直振動を検出する検出用電極とを対向する振動部に分離して形成してなる。
請求項（抜粋）：
LiTaO3 及びLiNbO3 の少なくともどちらか一方の圧電材料からなる音叉形共振子から構成される圧電ジャイロであって、面内振動を駆動する駆動用電極と面垂直振動を検出する検出用電極とを対向する振動部に分離して形成してなることを特徴とする圧電ジャイロ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H03H 9/17
