特許
J-GLOBAL ID：200903055368013549
吸着固定に用いる多孔質シートおよび該多孔質シートを用いる吸着固定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-314680
公開番号（公開出願番号）：特開平8-169971
出願日： 1994年12月19日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：
【要約】【目的】 液晶用ガラス板や半導体ウェハの精密切断、液晶用ガラス板や半導体ウェハの精密塗工、偏光板と位相差板あるいはこれらとガラス板との精密貼り合わせ等を吸着固定法により行う場合に用いる吸着固定用シートを提供する。【構成】 超高分子量ポリエチレンから成り、且つ、摩擦係数が0.3以下であることを特徴とする多孔質シートである。
請求項（抜粋）：
超高分子量ポリエチレンから成り、且つ、摩擦係数が0.3以下であることを特徴とする吸着固定に用いる多孔質シート。
IPC (2件)：
C08J 9/00 CES
, C08L 23:02
