特許
J-GLOBAL ID：200903055429595805
圧電素板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-191720
公開番号（公開出願番号）：特開2007-013571
出願日： 2005年06月30日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：
【課題】 従来の圧電素板の製造方法では、圧電素板表面を鏡面加工後に再度比較的研磨粒子が粗いベベリング研磨加工をして圧電素板の主面形状をコンベックス形状に徐々に近づけていくような工程を備えていたため、鏡面加工を行った圧電素板表面を目の粗い研磨材で研磨することにより、圧電素板表面に不要なキズが生じてしまう課題がある。【解決方法】圧電素板の製造方法において、圧電素板の表裏主面をラッピング研磨法により所定の厚みまで研磨加工する工程と、この圧電素板の主面辺縁部をベベリング加工する工程と、この圧電素板をポリッシング加工により主面を鏡面仕上げする工程と、この圧電素板の少なくとも一方の主面を概略コンベックス形状になるように粗研磨加工する工程と、この圧電素板の概略コンベックス形状に加工された主面を所望のコンベックス形状になるように鏡面加工を施す工程を具備する圧電素板の製造方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
外形加工を施された圧電素板の主面の形状を、概略凸面状のコンベックス形状に形成する圧電素板の製造方法において、
該圧電素板の表裏主面をラッピング研磨法により所定の厚みまで研磨加工する工程と、
該圧電素板の主面辺縁部をベベリング加工し、該主面辺縁部を主面中央部に比べ厚みが薄くなるように加工する工程と、
該圧電素板をポリッシング加工により主面を鏡面仕上げする工程と、
該圧電素板の少なくとも一方の主面を概略コンベックス形状になるように粗研磨加工する工程と、
該圧電素板の概略コンベックス形状に加工された主面を所望のコンベックス形状になるように鏡面加工を施す工程と
を具備することを特徴とする圧電素板の製造方法。
IPC (5件)：
H03H 3/02
, H03H 9/19
, H03H 9/215
, H01L 41/22
, H01L 41/18
H03H3/02 B
, H03H9/19 A
, H03H9/215
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101A
5J108BB02
, 5J108BB03
, 5J108CC05
, 5J108DD02
, 5J108DD09
, 5J108KK01
, 5J108KK07
, 5J108MM13
