特許
J-GLOBAL ID：200903055464974746
容量式物理量検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108454
公開番号（公開出願番号）：特開2000-081449
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：
【要約】【課題】 自己診断を行うことができる容量式物理量検出装置を提供する。【解決手段】 容量変化を検出するための期間と可動電極を変位させるための期間とを有し周期的に変化する信号を、可動電極2dと固定電極3、4の間に印加し、容量変化を検出する期間においては、C-V変換回路21により可動電極2dと固定電極3、4からなる差動容量の変化に応じた電圧を出力するようにして加速度検出を行い、可動電極を変位させる期間においては、自己診断時に、C-V変換回路21における演算増幅器21aの非反転入力端子に印加する電圧をV/2からV1に切り換えて、可動電極2dに擬似的な加速度を与えるようにした。
請求項（抜粋）：
物理量の変化に応じて変位する可動電極(2d)と、前記可動電極に対向して配置された固定電極(3、4)と、少なくとも容量変化を検出するための期間と、自己診断を行うために前記可動電極を変位させるための期間とを有する信号を前記可動電極と前記固定電極との間に周期的に印加する信号印加手段(23、24)と、前記容量変化を検出するための期間における信号が前記可動電極と前記固定電極との間に印加されているときに、前記可動電極と前記固定電極からなる容量の変化に応じた電圧を出力するC-V変換回路(21)と、前記C-V変換回路の出力電圧を信号処理して前記物理量の変化に応じた信号を出力する信号処理回路(22)とを備え、前記信号印加手段は、前記可動電極を変位させるための期間における信号を、自己診断でない時の信号と自己診断時の信号との間で切り替える切替手段(23)を有しており、前記自己診断時の信号を前記可動電極と前記固定電極との間に周期的に印加することにより、前記可動電極に擬似的な物理量を発生させるようにしたことを特徴とする容量式物理量検出装置。
IPC (4件)：
G01P 15/125
, G01L 1/14
, G01L 9/12
, G01P 21/00
G01P 15/125
, G01L 1/14 A
, G01L 9/12
, G01P 21/00
