特許
J-GLOBAL ID：200903055479822861
高低温ハンドラ用恒温槽内の温度制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-114097
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294596
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 高低温ハンドラ用恒温槽を高速かつ安定な温度制御方法を提供する。【構成】 恒温槽1はICを加熱する予熱部2Aと測定部2Bを内蔵する。恒温槽1内を高温にする場合はヒータ1Aを加熱してファン1Bで槽内を熱風循環させる。恒温槽1内を低温にする場合は液体窒素を槽内に流入させファン1Bで槽内を冷風循環させる。目的温度の発生源から離れた位置に温度センサ3Aを配置し、目的温度の発生源の近傍に温度センサ3Bを配置する。温度センサ3Aで恒温槽内を高速に温度制御し、目的温度に達したとき、温度検出を温度センサ3Bに切り換え、恒温槽1内を安定して温度制御する。
請求項（抜粋）：
恒温槽(1) はICを加熱する予熱部(2A)と測定部(2B)を内蔵し、恒温槽(1) 内を高温にする場合はヒータ(1A)を加熱してファン(1B)で槽内を熱風循環させ、恒温槽(1) 内を低温にする場合は液体窒素を槽内に流入させファン(1B)で槽内を冷風循環させる高低温ハンドラ用恒温槽において、第1の温度センサ(3A)を目的温度の発生源から離れ、目的温度に平衡させる位置に配置し、第2の温度センサ(3B)を目的温度の発生源近傍に配置し、メモリ(4) に前記目的温度を書き込み、温度制御部(5) を第1の比較演算手段(5A)と第2の比較演算手段(5B)と第1のパラメータ入力手段(5C)と第2のパラメータ入力手段(5D)と切換手段(5E)と温度調整手段(5F)とCPU(5G)とで構成し、第1の比較演算手段(5A)は第1の温度センサ(3A)の第1の検出値とメモリ(4)の目的温度を読み込み比較し、第1のパラメータ入力手段(5C)に目的温度に対する応答の速い第1のパラメータを演算し、第2の比較演算手段(5B)は第2の温度センサ(3B)の第2の検出値とメモリ(4)の目的温度を読み込み比較し、第2のパラメータ入力手段(5D)に目的温度に対する応答の速い第2のパラメータを演算し、第1のパラメータ入力手段(5C)と第2のパラメータ入力手段(5D)は切換手段(5E)に前記第1のパラメータと前記第2のパラメータを入力し、切換手段(5E)は前記第1のパラメータと前記第2のパラメータのいずれかを温度調整手段(5F)に入力し、CPU(5G)は第1の比較演算手段(5A)が前記目的温度に達したとき、前記第2のパラメータを温度調整手段(5F)に入力切り換え指令することを特徴とする高低温ハンドラ用恒温槽内の温度制御方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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