砥石のインプロセス測定装置と測定方法および研削装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-392759
公開番号（公開出願番号）：特開2002-192463
出願日： 2000年12月25日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【課題】簡単かつ正確に砥石の寸法を計測できるインプロセス測定装置を提供すること。【解決手段】軸2a回りに回転する砥石2の研削面に近接して対向する圧力センサ部3を備え、砥石2と圧力センサ部3との間に研削液4を供給する。圧力センサ部3を微動機構7aと粗動機構7bからなる変位手段7で支持する。制御装置10は、圧力センサ部3に設けられた圧力センサ3aによる研削液4の動圧の測定圧力が、所定の値になるように圧力センサ部3を変位させて、レーザ変位計9で測定する圧力センサ部3の変位量に基づいて、砥石2の寸法を算出する。砥石2が摩耗して径が小さくなっても、砥石2と圧力センサ部3との間の距離が所定の距離に保持されるので、圧力センサ3aは動圧を正確に測定できて、砥石2の寸法が正確に測定される。

請求項（抜粋）：

回転する砥石と、上記砥石に対向して配置された圧力センサと、上記砥石と圧力センサとの間に流体を供給する流体供給手段と、上記圧力センサを変位させる変位手段と、上記圧力センサの検出圧が所定値になるように圧力センサを変位させるように上記変位手段を制御する制御手段と、上記圧力センサの変位量を検知する変位検出手段とを備えることを特徴とする砥石のインプロセス測定装置。

IPC (4件)：

B24B 49/08 , B23Q 17/22 , B24B 49/10 , B24B 49/12

FI (4件)：

B24B 49/08 , B23Q 17/22 D , B24B 49/10 , B24B 49/12

Fターム (6件)：

3C029AA06 , 3C029AA40 , 3C034BB92 , 3C034BB93 , 3C034BB94 , 3C034CA08

引用特許：

出願人引用 (3件)

砥石の接触検知装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-354401 出願人：株式会社リコー
研削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-141458 出願人：株式会社岡本工作機械製作所
研削加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-028363 出願人：三菱電機株式会社

審査官引用 (3件)

砥石の接触検知装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-354401 出願人：株式会社リコー
研削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-141458 出願人：株式会社岡本工作機械製作所
研削加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-028363 出願人：三菱電機株式会社

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