タッチ信号プローブ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-253554
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096618
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】摩擦力が作用する状態にあっても、長期にわたり高い位置の再現性を確保することができるタッチ信号プローブを提供する。【解決手段】固定部材11と、可動部材21と、接触子23を有するスタイラス22と、付勢力発生手段と、固定部材11と可動部材21の互いに離隔した3箇所のそれぞれにおいて一対の接触点で接触し、これらの部材の相対位置を一義的に定める着座機構と、接触子23へ加えられる力がなくなった後、着座機構における固定部材11と可動部材21との接触状態を保ちつつ、常に一定の方向へ相対変位させる変位発生機構(圧電素子151 〜153 )を固定部材11及び/又は可動部材21に設ける。

請求項（抜粋）：

ハウジングに取り付けられた固定部材と、可動部材と、前記固定部材と前記可動部材とが互いに離隔した3箇所のそれぞれにおいて一対の接触点で接触し、これにより前記固定部材と前記可動部材との相対位置を一義的に定める機能を有する着座機構と、前記可動部材に設けられ先端に被測定物と接触する接触子を有するスタイラスと、前記接触子に外部から力が加えられたとき前記固定部材に対する前記可動部材の変位を許容し、かつ、前記接触子に加えられる力がなくなったとき前記可動部材を静止位置に復帰させるための付勢力発生手段と、を有するタッチ信号プローブにおいて、前記接触子へ加えられる力がなくなった後、前記着座機構における前記固定部材と前記可動部材の接触状態を保ちつつ、各接触点において前記固定部材と前記可動部材とを、その作動時には常に一定の方向へ所定の手順で相対変位させる変位発生機構を、前記可動部材および前記固定部材の少なくとも一方に設けることを特徴とするタッチ信号プローブ。

IPC (2件)：

G01B 21/00 , G01B 7/00

FI (2件)：

G01B 21/00 B , G01B 7/00 S

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-069613
特開昭63-263406
特開昭59-092301

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