シャドウマスクの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-103285
公開番号（公開出願番号）：特開平8-298069
出願日： 1995年04月27日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】【目的】フォトエッチング法によってシャドウマスクを製造する方法に係わり、特に開孔の径が小さく開孔の数が多い高精細シャドウマスクの製造方法に関する。【構成】エッチング防止層形成工程を有するシャドウマスクの製造方法において、第一エッチング工程とエッチング防止層形成工程との間を搬送中の金属素材を加熱する手段と、前記加熱手段により加熱された金属素材へ樹脂を塗布する際の金属素材表面の温度を測定する手段と、前記温度測定手段により得られた測定結果をもとに、前記加熱手段の金属素材への加熱温度を制御する手段とを具備したことで、所望する表面温度とした金属素材に対しエッチング防止層形成工程を行うことを特徴とするシャドウマスクの製造方法。

請求項（抜粋）：

両面に所定パターンに従って一部金属面を露出させているレジスト膜が形成されている板状の金属素材の少なくとも一方の面をエッチングして、少なくともこの一方の面の金属露出部分に凹部を形成した後、水洗洗浄、乾燥を行なう第一エッチング工程と、前記第一エッチング工程にて形成された凹部を有する一方の面に樹脂を塗布してこの凹部内部に樹脂を充填、硬化しエッチング防止層を形成する工程と、前記エッチング防止層の設けられた面とは反対の面をエッチングして、この反対の面から前記一方の面に形成された凹部に通じる凹孔を形成する第二エッチング工程と、前記エッチング防止層とレジスト膜を除去する剥膜工程とを少なくとも有するシャドウマスクの製造方法において、前記第一エッチング工程とエッチング防止層形成工程との間を搬送中の金属素材を加熱する手段と、前記加熱手段により加熱された金属素材へ樹脂を塗布する際の金属素材表面の温度を測定する手段と、前記温度測定手段により得られた測定結果をもとに、前記加熱手段による金属素材への加熱温度を制御する手段とを具備したことで、所望する表面温度とした金属素材に対しエッチング防止層形成工程を行うことを特徴とするシャドウマスクの製造方法。

IPC (2件)：

H01J 9/14 , H01J 29/07

FI (2件)：

H01J 9/14 G , H01J 29/07 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

シャドウマスクの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-316049 出願人：東洋インキ製造株式会社
感光液塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-211142 出願人：株式会社東芝
特開平3-253581

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