特許

J-GLOBAL ID：200903055524466184

振動子及びそれを用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置

発明者： 森 章 ,  豊島 功
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-045866
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235332
出願日： 2000年02月23日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】 振動子の上面及び下面に支持部材が設けられた振動ジャイロにおいて、正確な角速度の検出ができる振動ジャイロを提供する。【解決手段】 振動子10の一方主面に第一の帯状電極が形成されるとともに、厚み方向に分極された第一の圧電体基板101と、一方主面に第二の帯状電極が形成されるとともに、厚み方向に分極された第二の圧電体基板102とを有し、ノード点N1、N2を第一の帯状電極上及び第二の帯状電極上に投影した位置には、それぞれ剛性の異なる支持部材107a、107cと、107b、107dとが設けられていることを特徴とする。【効果】 本発明の振動子は、振動子の厚み方向に関して、ノード点が第一の帯状電極側又は第二の帯状電極側に偏り、振動子のノード点が厚み方向に関して経時変化により移動しにくいため、振動子の駆動バランスが保たれ、正確な角速度の検出ができる。

請求項（抜粋）：

一方主面に第一の帯状電極が形成されるとともに、厚み方向に分極された第一の圧電体基板の他方主面と、一方主面に第二の帯状電極が形成されるとともに、厚み方向に分極された第二の圧電体基板の他方主面とが、中間電極を介して貼り合わされてなり、長手方向に二つ以上のノード点を有する振動子であって、前記ノード点のうちの少なくとも一つは、前記第一の圧電体基板の一方主面側、又は、前記第二の圧電体基板の一方主面側に偏った位置にあることを特徴とする振動子。

IPC (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G03B 5/00 ,  H01L 41/09

FI (5件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G03B 5/00 G ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 U

Fターム (9件)：

2F105AA08 ,  2F105AA10 ,  2F105BB04 ,  2F105BB20 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 振動ジャイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-080165   出願人：株式会社村田製作所
• 振動ジャイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-237245   出願人：株式会社村田製作所