特許

J-GLOBAL ID：200903055549044446

静電チャック

発明者： 大江 純司
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-337243
公開番号（公開出願番号）：特開2000-158275
出願日： 1998年11月27日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】要約【課題】金網状電極4を備えたセラミック製静電チャック1において、静電吸着力を高めかつ残留吸着力を速やかに逃がすことができるようにする。【解決手段】被吸着物を保持する吸着面3を有する板状セラミック体2中に、金網状電極4を埋設してなり、上記金網状電極4が占める面積に対する開口部4aの割合を50〜80%とするとともに、各開口部4aの最短幅を0.23mm以上として静電チャック1を構成する。

請求項（抜粋）：

被吸着物を保持する吸着面を有する板状セラミック体中に、金網状電極を埋設してなる静電チャックにおいて、上記金網状電極が占める面積に対する開口部の割合が50〜80%で、かつ各開口部の最短幅が0.23mm以上であることを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

B23Q 3/15 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B23Q 3/15 D ,  H01L 21/68 R

Fターム (10件)：

3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031GA09 ,  5F031HA17 ,  5F031HA18 ,  5F031HA37 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-218259   出願人：日本碍子株式会社

審査官引用 (1件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-218259   出願人：日本碍子株式会社