特許
J-GLOBAL ID：200903086710809400
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-218259
公開番号（公開出願番号）：特開平9-134951
出願日： 1996年08月20日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】被処理物を吸着するための静電チャックにおいて、高温領域でも、絶縁膜における漏れ電流を減少させ、同時に、被処理物の吸着力を十分に高く保持できるようにすること。【解決手段】静電チャックは、基体18と、絶縁性誘電層40と、基体と絶縁性誘電層との間に形成されている電極9とを備えている。電極9上に絶縁性誘電層40を介して被処理物41を吸着するように構成されており、絶縁性誘電層40の平均厚さqが0.5mm以上、5.0mm以下である。また、絶縁性誘電層の吸着面18aに開口するガス導入孔42が少なくとも絶縁性誘電層に形成されており、吸着面18a側にガス分散用凹部24Aが形成されており、ガス分散用凹部24Aの深さが100μm以上、5.0mm以下である。
請求項（抜粋）：
被処理物を吸着するための静電チャックであって、基体と、絶縁性誘電層と、前記基体と前記絶縁性誘電層との間に形成されている電極とを備えており、前記電極上に前記絶縁性誘電層を介して前記被処理物を吸着するように構成されており、前記絶縁性誘電層の平均厚さが0.5mm以上、5.0mm以下であることを特徴とする、静電チャック。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H01L 21/3065
, H02N 13/00
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
, H02N 13/00 D
, H01L 21/302 B
