駆動制御装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-284906
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120106
出願日： 1992年10月01日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】駆動制御装置の駆動精度を向上させる。【構成】それぞれ同じ制御対象3を駆動制御する第1および第2の制御ループと、前記第1および第2の制御ループ全体を統括制御する統括制御手段1とを具備する駆動制御装置において、前記第1の制御ループL1 と第2の制御ループL2 との間の相対的な制御誤差を補償する相対誤差補償手段2を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

それぞれ同じ制御対象を駆動制御する第1および第2の制御ループと、前記第1および第2の制御ループ全体を統括制御する統括制御手段とを具備する駆動制御装置において、前記第1の制御ループと第2の制御ループとの間の相対的な制御誤差を補償する相対誤差補償手段を設けたことを特徴とする駆動制御装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G05D 3/12 305

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平3-028909
特開昭48-016082
特開平2-274480

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