特許

J-GLOBAL ID：200903055587176933

ビームの評価方法および装置

発明者： 大石 祐嗣 ,  根本 孝七 ,  名雪 琢弥 ,  近藤 健一 ,  中村 一隆 ,  弘中 陽一郎 ,  岡野 泰彬
出願人/特許権者： 財団法人電力中央研究所
代理人 (1件)： 村瀬 一美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-235262
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045367
出願日： 2001年08月02日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】 高いエネルギ分解能を得られると共に装置を小型化する。【解決手段】 磁場2を形成する磁石3と、電子ビーム4を含むビーム5を磁場2中に通過させたときに軌道が曲げられた電子ビーム4の電子を検出する電子検出手段6とを備えたビームの評価装置1において、電子検出手段6はイメージングプレートである。

請求項（抜粋）：

電子ビームを含むビームを磁場中に通過させることにより前記電子ビームの各電子の軌道を曲げて電子検出手段に照射して、検出された前記電子の前記磁場に垂直な方向の分布から電子エネルギスペクトルを求めるか、あるいは前記磁場に平行な方向の分布から電子ビーム形状を求めるかの少なくとも一方を行うビームの評価方法において、前記電子検出手段はイメージングプレートであることを特徴とするビームの評価方法。

IPC (7件)：

H01J 37/04 ,  G01T 1/29 ,  G01T 1/36 ,  G21K 1/00 ,  G21K 1/093 ,  H01J 37/05 ,  H01J 49/46

FI (8件)：

H01J 37/04 A ,  G01T 1/29 A ,  G01T 1/29 Z ,  G01T 1/36 A ,  G21K 1/00 E ,  G21K 1/093 D ,  H01J 37/05 ,  H01J 49/46

Fターム (14件)：

2G088FF11 ,  2G088FF14 ,  2G088FF15 ,  2G088GG25 ,  2G088GG30 ,  2G088JJ01 ,  2G088JJ22 ,  2G088KK32 ,  5C030AA04 ,  5C030AA10 ,  5C033AA05 ,  5C033AA07 ,  5C038KK12 ,  5C038KK17

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-264883
  
• 電子線分光装置および電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-160974   出願人：株式会社リコー