特許

J-GLOBAL ID：200903055642916020

静圧軸受装置

発明者： 堆 浩太郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-056448
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249239
出願日： 1993年02月22日
公開日（公表日）： 1994年09月06日
要約：

【要約】【目的】 静圧軸受装置の自励振動を防ぐ。【構成】 露光装置のXYステージ等の移動台1は、図示下面に多孔質パッド3を有し、多孔質パッド3から固定台5の表面に向って噴出される加圧流体の静圧によって非接触に支持される。多孔質パッド3は、軸受間隙の寸法が周期的に変化したときの前記静圧の変動成分のうちで、軸受間隙の寸法の減少に対して90度の位相遅れを有する周期的変動成分が、移動台1を含む振動系の固有振動数に等しい周波数において正であるように構成されている。従って、移動台1の振動は速かに減衰される。

請求項（抜粋）：

一対の物体の間の間隙に加圧流体を噴出し、その静圧によって両物体を非接触に支持する多孔質絞り型の噴出手段を有し、該噴出手段が、前記間隙の寸法の周期的変化が発生したとき、前記間隙の加圧流体の静圧が前記間隙の寸法の周期的減少に対して90度の位相遅れをもつ周期的変動成分を有し、かつ、該周期的変動成分が各物体の振動系の固有振動数に等しい周波数において正の値であるように構成されていることを特徴とする静圧軸受装置。

IPC (4件)：

F16C 32/06 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  B23Q 1/26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• テープ巻取装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-030523   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 特開平4-216412
  
• 特開平4-058615