特許

J-GLOBAL ID：200903055666128456

基板の冷却構造

発明者： 神川 進 ,  森崎 裕彦 ,  和田 宏三 ,  平井 悦郎 ,  小林 敏郎 ,  加藤 光雄 ,  平野 竜也
出願人/特許権者： 三菱日立製鉄機械株式会社
代理人 (4件)： 光石 俊郎 ,  光石 忠敬 ,  田中 康幸 ,  松元 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-098402
公開番号（公開出願番号）：特開2005-281784
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】 基板の温度上昇を抑えることができる基板の冷却構造を提供する。【解決手段】 基板1を保持するホルダ2と、基板1の蒸着されない側の面に配設された冷却板3と、基板1と冷却板3との間に配設され、基板1及び冷却板3との接触性が良好な柔構造物4とを有する基板の冷却構造。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

真空蒸着装置に用いられる基板の冷却構造であって、 基板を保持する保持手段と、前記基板の蒸着されない側の面に配設された冷却部材と、前記基板と前記冷却部材との間に配設され、前記基板との接触面及び前記冷却部材との接触面に追従して変形可能な柔構造部材とを有することを特徴とする基板の冷却構造。

IPC (1件)：

C23C14/50

FI (1件)：

C23C14/50 E

Fターム (10件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA24 ,  4K029AA25 ,  4K029BD00 ,  4K029DA00 ,  4K029DA08 ,  4K029DB14 ,  4K029JA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 有機エレクトロルミネッセンス素子及びパネルの製造方法と製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-204006   出願人：日本電気株式会社