特許
J-GLOBAL ID：200903055701971846
半導体ウェーハ測定器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-095472
公開番号（公開出願番号）：特開2003-297890
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：
【要約】【課題】従来装置に比較して、効果的に装置寸法を小型化し、装置の多機能化を容易に実現することができる半導体ウェーハ測定器を提供する。【解決手段】ウェーハを円盤状回転ステージに載せて回転させ、かつ4探針プローブまたは膜厚センサヘッドをウェーハの半径方向に移動させる。プローブ上下駆動部取付アームと膜厚センサヘッド取付アームを水平駆動部の駆動方向と直角に配置し、装置の専有面積を最小にならしめている。管理費用および専有面積の低減および半導体ウェーハ試作ライン,製造ラインにおける測定工程の簡単化を可能とし、さらに、特に抵抗率測定と膜厚測定の両方を必要とするポリシリコン膜などの半導体プロセスにおいて、抵抗率測定と膜厚測定の同時測定を可能とする。
請求項（抜粋）：
被測定の半導体ウェーハを載置する円盤状測定ステージと、該測定ステージを回転させる回転駆動部とを備え、該測定ステージ上に載置された半導体ウェーハの上面に接触して前記半導体ウェーハの抵抗率を測定するための4探針プローブ、および、該4探針プローブを上下方向に移動させるプローブ上下駆動部の組合せと、該測定ステージ上に載置された半導体ウェーハの上面に形成された薄膜の膜厚を測定するための膜厚センサヘッドとの少なくとも一方を備え、該プローブ上下駆動部と前記4探針プローブと前記膜厚センサヘッドとを前記測定ステージの半径方向に移動させる水平駆動部と、前記水平駆動部の駆動方向に直角に配置したプローブ上下駆動部取付アームと膜厚センサヘッド取付アームとを備え、測定点の位置と前記4探針プロ-ブと前記膜厚センサヘッドのうちの選択すべき一方またはその両方を指定する制御情報を入力する操作部と、該測定点の位置と前記選択すべきプロ-ブまたは膜厚センサヘッドまたはその両方を表示する表示部と、該制御情報に従って前記回転駆動部と前記水平駆動部と前記4探針プローブ上下駆動部を駆動し、前記半導体ウェーハの上面の指定された位置に前記プローブを接触させ、前記半導体ウェーハの上面の指定された位置の直上に前記膜厚センサヘッドを移動させる制御部と、抵抗率を測定するために前記4探針プローブに接続される抵抗率計測部と、膜厚を測定するために前記膜厚センサヘッドに接続される膜厚計測部とを備えた半導体ウェーハ測定器であって、前記水平駆動部の駆動方向と直角に配置した前記プローブ上下駆動部取付アームと前記膜厚センサヘッド取付アームを前記円盤状測定ステージの半径方向に移動することにより、最小の専有面積を有する筐体形状を得るとともに、前記半導体ウェーハの種類に対応して前記4探針プローブまたは前記膜厚センサヘッドまたはその両方を選択し、その選択された前記4探針プローブまたは前記膜厚センサヘッドまたはその両方により、前記半導体ウェーハの抵抗率または膜厚またはその両方を測定するように構成されたことを特徴とする半導体ウェーハ測定器。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/66 L
, H01L 21/66 P
, G01R 1/073 A
2G011AA03
, 2G011AA12
, 2G011AA21
, 2G011AC00
, 2G011AD01
, 2G011AE03
, 2G011AF00
, 4M106AA01
, 4M106BA14
, 4M106CA10
, 4M106CA48
, 4M106DH03
, 4M106DH09
, 4M106DH51
, 4M106DJ06
