特許
J-GLOBAL ID:200903055737467249
誘導加熱装置および誘導加熱方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-032599
公開番号(公開出願番号):特開2003-234169
出願日: 2002年02月08日
公開日(公表日): 2003年08月22日
要約:
【要約】【課題】 簡単に温度分布のムラを低減することができる誘導加熱装置および誘導加熱方法を提供する。【解決手段】 誘導加熱用コイル64は、それぞれ電源接続端子A,B,C,D,E,Fを2つ有する複数の電気的制御ブロックg1,g2,g3,g4,uからなり、平面状コイル部においては電気的制御ブロックg1,g2,g3,g4はほぼ同心円状になされている。
請求項(抜粋):
少なくとも基板に対向するほぼ平面状のコイル部を有するとともに中心空間部を有する誘導加熱用コイルと、誘導加熱用コイルへ高周波の駆動電源を供給する電源供給手段とを備えている誘導加熱装置であって、誘導加熱用コイルは、それぞれ電源接続端子を2つ有する複数の電気的制御ブロックからなり、平面状コイル部においては電気的制御ブロックはほぼ同心円状になされていることを特徴とする誘導加熱装置。
IPC (6件):
H05B 6/36
, C23C 16/46
, H05B 6/06 393
, H05B 6/26
, H05B 6/40
, H05B 6/44
FI (6件):
H05B 6/36 F
, C23C 16/46
, H05B 6/06 393
, H05B 6/26
, H05B 6/40
, H05B 6/44
Fターム (9件):
3K059AA08
, 3K059AB04
, 3K059AC54
, 3K059AD05
, 3K059CD65
, 4K030EA05
, 4K030EA06
, 4K030FA10
, 4K030KA24
引用特許:
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