特許
J-GLOBAL ID：200903055752634216
膜厚測定装置、膜厚測定方法および膜厚測定のためのプログラムを記憶した記録媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-219308
公開番号（公開出願番号）：特開2002-039721
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：
【要約】【課題】 低反射率の膜面についてもピーク値の検出を確実に行うことができる膜厚測定装置、膜厚測定方法および膜厚測定のためのプログラムを記憶した記録媒体を提供する。【解決手段】 薄膜を形成した試料6と対物レンズ5とを相対的に移動させるとともに、試料6に対物レンズ5を介してレーザ光を照射し、薄膜からの反射光に応じた輝度データの変化から薄膜面を検出するもので、試料6と対物レンズ5の相対的移動位置と輝度データの関係に対してフィッティング処理プログラム46aによりフィッティング処理を実行し、このフィッティング処理された試料6と対物レンズ5の相対的移動位置と輝度データの関係から該輝度データのピーク位置を特定する。
請求項（抜粋）：
薄膜が形成され、測定対象面を少なくとも2つ有している試料に対して対物レンズを介したスポット光を照射させると共に、前記試料と対物レンズとを光軸上で相対的に移動させつつ、前記試料からの反射光を光検出手段で検出し、前記光検出手段の検出出力の変化から測定対象面を検出することで、前記試料上に形成された薄膜の厚さを測定する膜厚測定装置において、前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係に対して、測定条件より導き出せる位置と出力との理想の関係を用いてフィッティング処理を実行するフィッティング処理手段と、このフィッティング処理手段によりフィッティング処理された前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係から該検出出力のピーク位置を特定するピーク位置特定手段とを具備したことを特徴とする膜厚測定装置。
Fターム (23件)：
2F065AA30
, 2F065CC19
, 2F065CC31
, 2F065DD04
, 2F065EE05
, 2F065FF10
, 2F065FF44
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065JJ01
, 2F065LL00
, 2F065LL12
, 2F065LL13
, 2F065LL30
, 2F065LL57
, 2F065MM07
, 2F065QQ00
, 2F065QQ03
, 2F065QQ23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ29
, 2F065SS13
審査官引用 (1件)
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膜厚計測装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-140571
出願人：石川島播磨重工業株式会社
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