硬質被膜及び積層硬質被膜

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鎌田文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-139915
公開番号（公開出願番号）：特開平11-335813
出願日： 1998年05月21日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】【課題】高硬度でより耐摩耗性等の耐久性の高い硬質被膜を形成しようとするものである。【解決手段】 JCPDS記載の格子定数に対し、0.997〜1.005倍の格子定数を有し、膜厚が0.01〜50μmである気相合成法によって基材表面に形成された金属窒化物から構成する。

請求項（抜粋）：

JCPDS記載の格子定数に対し、0.997〜1.005倍の格子定数を有し、膜厚が0.01〜50μmである気相合成法によって基材表面に形成された金属窒化物からなる硬質被膜。

引用特許：

審査官引用 (7件)

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