特許
J-GLOBAL ID：200903055826047296

窒化アルミニウム焼成用セッター材、その製造方法及びセッター

発明者：
城所 隆

城所 隆 について

, 
平島 豊

平島 豊 について

, 
川崎 卓

川崎 卓 について


出願人/特許権者：
電気化学工業株式会社

電気化学工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-049280
公開番号（公開出願番号）：特開2003-246675
出願日： 2002年02月26日
公開日（公表日）： 2003年09月02日
要約：
【要約】【課題】2000°C以上の高温で繰り返し使用しても、AlNが析出しにくく、長寿命で、管理の容易なAlN焼成用セッターを提供すること。【解決手段】六方晶窒化硼素焼結体からなるものであって、その少なくとも1つの面が、入射X線と回折X線が同面の法線に対称となるようにX線を入射したときに、(002)回折線と(100)回折線のピーク強度比I(002)/I(100)が30〜150であることを特徴とする窒化アルミニウム焼成用セッター材。黒鉛化指数が1.5〜5.0である六方晶窒化硼素粉末原料を、5MPa以上の圧力で一軸プレス成形して六方晶窒化硼素粒子を配向させたグリーン成形体を作製した後、常圧焼結して上記セッター材を製造する。上記セッター材で組み立てられた容器からなり、その内壁面をピーク強度比I(002)/I(100)が30〜150である面としてなる窒化アルミニウム焼成用セッター。
請求項（抜粋）：
六方晶窒化硼素焼結体からなるものであって、その少なくとも1つの面が、入射X線と回折X線が同面の法線に対称となるようにX線を入射したときに、(002)回折線と(100)回折線のピーク強度比I(002)/I(100)が30〜150であることを特徴とする窒化アルミニウム焼成用セッター材。
FI (2件)：
C04B 35/58 103 Z ,  C04B 35/58 103 Y
Fターム (7件)：
4G001BA35 ,  4G001BB35 ,  4G001BC23 ,  4G001BC56 ,  4G001BD07 ,  4G001BE01 ,  4G001BE12
引用特許：
審査官引用 (4件)
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