セラミックス焼成用セッター

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-088473
公開番号（公開出願番号）：特開平9-278526
出願日： 1996年04月10日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【課題】(1)焼成するセラミックスに悪影響を与えず、(2)繰り返し使用しても割れや欠けがなく長寿命であり、(3)繰り返し使用による変形がなく再加工が必要でなく、(4)安価であり、(5)多種類のセラミックスに対応可能などの特性を有するセラミックス焼成用セッターを提供すること。【解決手段】平均気孔径0.1〜0.4μm、曲げ強度15MPa以上の窒化硼素焼結体からなることを特徴とするセラミックス焼成用セッター。

請求項（抜粋）：