特許
J-GLOBAL ID：200903055867788527
超微粒子の生成方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
松本 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-250822
公開番号（公開出願番号）：特開平8-112527
出願日： 1994年10月17日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】 レーザ照射で生成させた超微粒子をターゲットに効率よく集める。【構成】 減圧雰囲気下でターゲット材1の表面ににエキシマレーザを照射することにより、粒子がターゲット材1から分解もしくは蒸発し粒子の爆発波3を生じさせ、この爆発波3の冷却によりデブリー(超微粒子)6をターゲット材1上に回収する。
請求項（抜粋）：
減圧雰囲気下でターゲット材の表面に短パルスレーザを照射することにより、粒子が前記ターゲット材から分解もしくは蒸発し粒子の爆発波を生じさせ、この爆発波の冷却により超微粒子をターゲット材上に回収する超微粒子の生成方法。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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超微粒子分散材料の作製方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-261603
出願人：日本板硝子株式会社
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特開平4-037608
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