X線CT装置、X線CT装置の調整方法及びX線CT装置の調整用冶具

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-001725
公開番号（公開出願番号）：特開2003-202303
出願日： 2002年01月08日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】拡大率を変えた場合の被検査体の回転軸の位置についての調整を容易化する。【解決手段】 X線源1を搭載したXYテーブル6の操作にともなって、被検査体5の回転軸近傍の金属線の投影が移動する方向と移動量の計測値のみを用いて、演算により徐々に理想的なX線焦点座標へ寄りつつ最適値を求める。

請求項（抜粋）：

焦点サイズ5μm以下のX線源を有し、このX線源とX線二次元検出器との間に被検査体を設置し、この被検査体をX線焦点からX線二次元検出器の受光面に降ろした垂線に直交する回転軸を中心として回転させて得られる該被検査体の投影データを再構成して、該被検査体の内部微細構造を10倍以上に拡大解析するX線CT装置において、上記X線源は、X軸がX線二次元検出器の受光面に直交しY軸が該受光面に平行であり上記被検査体の回転中心とX線焦点との間の距離の3倍以上のストローク及び1μm以下の停止位置精度を有するXY軸駆動手段を備えたXYテーブルの上に搭載されており、上記被検査体は、上記XYテーブルにおけるXY平面に対して直交するZ軸方向について1μm以下の停止位置精度を有するZ軸駆動手段により移動操作される回転基台上に載置されることを特徴とするX線CT装置。

Fターム (14件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA09 , 2G001FA06 , 2G001GA06 , 2G001GA13 , 2G001HA08 , 2G001HA13 , 2G001HA14 , 2G001JA08 , 2G001JA11 , 2G001KA03 , 2G001PA12

引用特許：

審査官引用 (3件)

CTスキャナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-140413 出願人：株式会社東芝
非破壊検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-221084 出願人：株式会社島津製作所
特開平2-138854

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