小型走査共焦点顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-030085
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183807
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】マイクロ機械加工されて静電的に作動する走査鏡を備えた小型走査共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】小型走査共焦点顕微鏡は、点光源として機能する光ファイバと、光ファイバからの光を像平面上に合焦させ、像平面から反射された光を集め、この光を受容器上の点に合焦させるレンズと、視野を走査するために光を走査させるマイクロ機械加工走査鏡とを含む。

請求項（抜粋）：

点光源として機能する一方の端部を有する単一モード光ファイバと、該ファイバの前記一方の端部からの光を焦点平面上の点上に合焦させると共に該点から反射される光を集光して光ファイバの端部上に前記光を合焦させるレンズと、を含む型の走査光学顕微鏡であって、シリコン部材からなるマイクロ機械加工二軸走査鏡手段と、窒化シリコンヒンジであって、該ヒンジを中心にして回転できるように前記鏡手段を支持するための窒化シリコンヒンジと、第1の方向及び第2の直交方向に沿って光を走査し、それによって、焦点平面上の点が、前記第1及び第2の方向に走査され、光が焦点平面からレンズ及び走査鏡を介して光ファイバの端部に戻されるように鏡手段を静電的に作動させる手段と、を含む、ことを特徴とする走査光学顕微鏡。

IPC (4件)：

G02B 21/06 , G02B 6/32 , G02B 21/00 , G02B 26/10 101

FI (4件)：

G02B 21/06 , G02B 6/32 , G02B 21/00 , G02B 26/10 101

引用特許：

審査官引用 (5件)

特表平5-506318
特表平5-506318
走査方法と装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-108875 出願人：アグファ-ゲーベルト・アクチエンゲゼルシヤフト

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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