搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-290647
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124284
出願日： 1998年10月13日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】工程間搬送装置と工程内搬送装置とを天井走行式とし、搬送物の搬送及び受け渡しを円滑かつ安全に行うことができるとともに、設備コストを低廉化できるようにした搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送台車12を工程間天井走行用レール11に沿って走行させるようにした工程間搬送装置1と、搭載した搬送物Wを昇降させるリフタ25を配設した搬送台車を複数のベイを結ぶ工程内天井走行用レールに沿って走行させるようにした工程内搬送装置とを、両天井走行用レールに段差を設けて交差するように配置するとともに、交差部近傍位置にストッカを配置し、該ストッカを工程間搬送装置と工程内搬送装置とで共用するようにする。

請求項（抜粋）：

搬送台車を工程間天井走行用レールに沿って走行させるようにした工程間搬送装置と、搭載した搬送物を昇降させるリフタを配設した搬送台車を複数のベイを結ぶ工程内天井走行用レールに沿って走行させるようにした工程内搬送装置とを、両天井走行用レールに段差を設けて交差するように配置するとともに、交差部近傍位置にストッカを配置し、該ストッカを工程間搬送装置と工程内搬送装置とで共用するようにしたことを特徴とする搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 Z

Fターム (9件)：

5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA17 , 5F031FA03 , 5F031FA15 , 5F031GA44 , 5F031GA48 , 5F031GA58 , 5F031GA59

引用特許：

審査官引用 (5件)

ストッカへの搬送システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-163698 出願人：神鋼電機株式会社
特開昭64-069204
特開昭64-069204

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