特許

J-GLOBAL ID：200903055967136519

スピンレススリットコート用感放射線性樹脂組成物及びその利用

発明者： 富永 康亮 ,  小澤 角栄 ,  尾家 正行
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-100012
公開番号（公開出願番号）：特開2005-284114
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】 スピンレススリットコート法によって大型基板に樹脂膜を形成するのに適した感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 アルカリ可溶性ノボラック樹脂と感光剤を含有する感放射線性樹脂組成物において、25°Cでの粘度が2〜7mPa・sであることを特徴とするスピンレススリットコート用感放射線性樹脂組成物。このスピンレススリットコート用感放射線性樹脂組成物を、スリットスコート法により基板に塗布することを特徴とするパターン形成方法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性ノボラック樹脂と感光剤を含有する感放射線性樹脂組成物において、25°Cでの粘度が2〜7mPa・sであることを特徴とするスピンレススリットコート用感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F7/023 ,  G03F7/004 ,  G03F7/16 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/023 511 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/16 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (7件)：

2H025AA18 ,  2H025AB16 ,  2H025BE01 ,  2H025BJ06 ,  2H025CB29 ,  2H025CC04 ,  2H025DA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ロールコート用感光性樹脂組成物およびロールコート方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-075739   出願人：クラリアントジャパン株式会社