特許
J-GLOBAL ID：200903011724288380

ロールコート用感光性樹脂組成物およびロールコート方法

発明者：
山元 研二

山元 研二 について


出願人/特許権者：
クラリアント ジャパン 株式会社

クラリアント ジャパン 株式会社 について


代理人 (1件)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-075739
公開番号（公開出願番号）：特開2000-267270
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】ロールコート法により塗布した際に塗布ムラの発生しにくいロールコート用感光性樹脂組成物およびロールコート方法を提供する。【構成】非イオン性フッ素系界面活性剤あるいは非イオン性シリコン系界面活性剤を含有させた、アルカリ可溶性樹脂および感光剤からなる感光性樹脂組成物を用い、これをロールコート法により基板に塗布する。非イオン性フッ素系界面活性剤としては、パーフルオロアルキル(炭素数3〜12)スルホンアミドのポリアルキレンオキサイド付加物、パーフルオロアルキル(炭素数3〜12)エチルアルコールのポリアルキレンオキサイド付加物、あるいは(a)アクリル酸とパーフルオロアルキル(炭素数3〜12)エチルアルコールとのエステルとメタクリル酸メチルとの共重合物ならびに(b)ポリアルキレンオキサイドとの混合物が、非イオン性シリコン系界面活性剤としては、ポリシロキサン誘導体のポリアルキレンオキサイド付加物のような非イオン性シリコン系界面活性剤が好ましい。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂、感光剤および非イオン性フッ素系界面活性剤を含有するロールコート用感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/004 504 ,  B05D 1/28 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/16
FI (4件)：
G03F 7/004 504 ,  B05D 1/28 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/16
Fターム (27件)：
2H025AA00 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE01 ,  2H025CB29 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025CC04 ,  2H025EA04 ,  4D075AC21 ,  4D075CA48 ,  4D075DA04 ,  4D075DB13 ,  4D075DC22 ,  4D075EA45 ,  4D075EB17 ,  4D075EB22 ,  4D075EB42 ,  4D075EB52 ,  4D075EC35
引用特許：
審査官引用 (10件)
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