特許

J-GLOBAL ID：200903055976838054

Ti系複合金属酸化膜形成用塗布液及びこれを用いて形成した誘電体薄膜

発明者： 澤田 佳宏 ,  橋本 晃 ,  逢坂 哲彌 ,  小岩 一郎 ,  見田 充郎 ,  金原 隆雄
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社 ,  沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 洋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-260285
公開番号（公開出願番号）：特開平10-087329
出願日： 1996年09月09日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 表面モホロジーがよく緻密な膜が形成可能で、保存安定性、取り扱い性に優れたTi系複合金属酸化膜形成用塗布液及びこれを用いた誘電体薄膜の提供。【解決手段】 (イ)(a)M金属アルコキシドとTiアルコキシド、(b)MTi複合アルコキシド、及び(c)前記(a)又は(b)のβ-ジケトン金属錯体化物の中から選ばれる少なくとも1種の化合物と、(ロ)無水カルボン酸類及びジカルボン酸モノエステル類の中から選ばれる少なくとも1種の化合物とを反応させて得られる有機金属化合物を含有してなる、下記一般式(I)MTiO3 (I)(式中、MはCa、Ba、Srの中から選ばれる少なくとも1種の金属元素を表す)で表されるTi系複合金属酸化膜形成用塗布液、及びこの塗布液を用いて基板上に形成された誘電体薄膜。

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)【化1】MTiO3 (I)(式中、MはCa、Ba、Srの中から選ばれる少なくとも1種の金属元素を表す)で表されるTi系複合金属酸化膜を形成するための塗布液であって、(イ)(a)M金属アルコキシドとTiアルコキシド、(b)MTi複合アルコキシド、及び(c)前記(a)又は(b)のβ-ジケトン金属錯体化物の中から選ばれる少なくとも1種の化合物と、(ロ)無水カルボン酸類及びジカルボン酸モノエステル類の中から選ばれる少なくとも1種の化合物とを反応させて得られる有機金属化合物を含有してなる、Ti系複合金属酸化膜形成用塗布液。

IPC (2件)：

C01G 23/00 ,  H01B 3/00

FI (2件)：

C01G 23/00 C ,  H01B 3/00 F