レーザ加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-091456
公開番号（公開出願番号）：特開2003-290961
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2003年10月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】加工すべき領域が広くなっても、レーザビームのデフォーカス状態を補正することが可能なレーザ加工装置を提供する。【解決手段】保持手段が加工対象物10を保持する。第1のレンズ2が、レーザ光源から出射されたレーザビームを収束または発散させる。第1のレンズを透過したレーザビームが第2のレンズ3に入射する。第2のレンズは、入射するレーザビームを、保持手段に保持された加工対象物上に集光させる。移動機構6が、第1のレンズ2を光軸方向に移動させる。走査装置4が、保持手段に保持された加工対象物10上へのレーザビームの入射位置が加工対象物の表面上を移動するように、第2のレンズ3を通過したレーザビームを走査する。第2のレンズ3に入射するレーザビームに対する第2のレンズ3の開口数をNA1、第2のレンズ3を通過したレーザビームに対する第2のレンズ3の開口数をNA2としたとき、NA1/NA2が2以上である。

請求項（抜粋）：

レーザビームを出射するレーザ光源と、加工対象物を保持する保持手段と、前記レーザ光源から出射されたレーザビームを収束または発散させる第1のレンズと、前記第1のレンズを透過したレーザビームが入射し、入射するレーザビームを、前記保持手段に保持された加工対象物上に集光させる第2のレンズと、前記第1のレンズを、光軸方向に移動させる移動機構と、前記保持手段に保持された加工対象物上へのレーザビームの入射位置が該加工対象物の表面上を移動するように、前記第2のレンズを通過したレーザビームを走査する走査手段とを有し、前記第2のレンズに入射するレーザビームに対する該第2のレンズの開口数をNA1、前記第2のレンズを通過したレーザビームに対する該第2のレンズの開口数をNA2としたとき、NA1/NA2が2以上であるレーザ加工装置。

IPC (2件)：

B23K 26/04 , B23K 26/08

FI (2件)：

B23K 26/04 C , B23K 26/08 B

Fターム (4件)：

4E068CA11 , 4E068CB05 , 4E068CD14 , 4E068CE03

引用特許：

審査官引用 (5件)

レーザ加工方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-007768 出願人：本田技研工業株式会社
特開昭62-231921
レ-ザ-マ-キング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-002499 出願人：東レエンジニアリング株式会社

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