特許

J-GLOBAL ID：200903056052375070

ヒドロキシアミド基含有脂環式ポリイミド及びその前駆体、並びにそれらを用いたポジ型感光性樹脂組成物、並びにそれらの硬化物

発明者： 長谷川 匡俊
出願人/特許権者： 日本化薬株式会社 ,  三菱化学株式会社
代理人 (6件)： 杉村 憲司 ,  杉村 興作 ,  来間 清志 ,  藤谷 史朗 ,  澤田 達也 ,  冨田 和幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-143834
公開番号（公開出願番号）：特開2008-297231
出願日： 2007年05月30日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：

【課題】i線(365nm)において高い透過率を有するヒドロキシアミド基含有脂環式ポリイミド又はその前駆体を用いて、半導体素子の保護膜及びディスプレー用プラスチック基板として有用なポリベンゾオキサゾールイミド膜を提供する。【解決手段】下記一般式(4):(式(4)中、Aは4価の芳香族基を表し、Bは2価の芳香族基又は脂肪族基を表す。)で表される反復単位を含有するヒドロキシアミド基含有脂環式ポリイミド又はその前駆体中に、ジアゾナフトキノン系感光剤を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物の膜をパターン露光及びアルカリ現像した後、加熱することにより得られることを特徴とするポリベンゾオキサゾールイミド膜である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記一般式(1):

IPC (4件)：

C07D 209/48 ,  C07D 307/89 ,  G03F 7/023 ,  C08G 73/10

FI (4件)：

C07D209/48 Z ,  C07D307/89 Z ,  G03F7/023 501 ,  C08G73/10

Fターム (63件)：

2H025AA01 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4C037RA11 ,  4C204BB03 ,  4C204CB04 ,  4C204DB30 ,  4C204EB03 ,  4C204FB05 ,  4C204GB21 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA06 ,  4J043RA35 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043TA02 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA042 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA151 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB232 ,  4J043UB30 ,  4J043VA01 ,  4J043VA011 ,  4J043VA031 ,  4J043VA041 ,  4J043VA052 ,  4J043VA062 ,  4J043VA08 ,  4J043VA082 ,  4J043XA16 ,  4J043YA06 ,  4J043YA08 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB02 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB47

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 感光性ポリイミド前駆体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-198425   出願人：東レ株式会社