特許

J-GLOBAL ID：200903056079722562

成膜用霧化装置

発明者： 西中 浩之 ,  川原村 敏幸 ,  藤田 静雄 ,  増田 喜男 ,  亀谷 圭介
出願人/特許権者： 藤田 静雄 ,  本多電子株式会社 ,  エムテック株式会社 ,  セラミックフォーラム株式会社
代理人 (2件)： 梶 良之 ,  須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-122836
公開番号（公開出願番号）：特開2005-305233
出願日： 2004年04月19日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【課題】超音波を高い効率で透過して霧化用液体4に伝播させることを可能にして十分に高い効率で霧化用液体4を霧化する。【解決手段】 霧化用液体4を収容し、底面部材8bが高分子材料の薄膜で形成された容器8と、容器8および中間溶液6を収容し、中間溶液6に少なくとも容器8の底面部材8bを浸漬させる溶液槽7と、溶液槽7に設けられ、容器8の底面部材8bに対して超音波を照射する超音波振動子13とを有する成膜用霧化装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

成膜に用いられる霧化装置であって、 霧化用液体を収容し、底面部が高分子材料の薄膜で形成された容器と、 前記容器および中間溶液を収容し、該中間溶液に少なくとも前記容器の底面部を浸漬させる溶液槽と、 前記溶液槽に設けられ、前記容器の底面部に対して超音波を照射する超音波振動子と を有することを特徴とする成膜用霧化装置。

IPC (1件)：

B05B17/06

FI (1件)：

B05B17/06

Fターム (6件)：

4D074AA01 ,  4D074BB02 ,  4D074DD03 ,  4D074DD12 ,  4D074DD18 ,  4D074DD32

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 登録実用新案第3009505号公報
  
• 特開昭56-065668
  
• 積層ポリエステルフィルムおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-109688   出願人：東レ株式会社
• 携帯用超音波霧化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-346650   出願人：コニシセイコー株式会社

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-065668
  
• 積層ポリエステルフィルムおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-109688   出願人：東レ株式会社
• 携帯用超音波霧化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-346650   出願人：コニシセイコー株式会社