特許
J-GLOBAL ID：200903056097340634
熱分析装置およびその計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-034077
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260147
出願日： 1997年02月18日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】 試料の加熱を熱容量の極めて小さなヒータで行うようにすることにより,極めて微量の試料で測定が行えると共に,応答速度が速く,微小電力で高温まで加熱でき,さらに画一的に大量生産できる熱分析装置を提供すること。また,微小電力で高速応答ができる熱分析装置の計測方法を提供すること。【解決手段】 試料加熱用の発熱部を基板と一体形成して下部に空洞を有する薄膜ヒータとして形成すると共に,薄膜ヒータまたは薄膜ヒータを支持する薄膜支持部内の薄膜ヒータに近接した領域に,試料を保持する試料保持部3と試料保持部3の温度を検出する温度検出部(5,5A,5B)とを一体形成して設けてある。
請求項（抜粋）：
試料を昇温または降温させる温度走査を行い,前記試料の物理化学的変化に基づく熱的変化を温度または時間の関数として計測する熱分析装置において,試料加熱用の発熱部を基板と一体形成して下部に空洞を有する薄膜ヒータとして形成すると共に,前記薄膜ヒータまたは前記薄膜ヒータを支持する薄膜支持部内の前記薄膜ヒータに近接した領域に,前記試料を保持する試料保持部と前記試料保持部の温度を検出する温度検出部とを一体形成して設けたことを特徴とする熱分析装置。
IPC (5件)：
G01N 25/00
, G01N 5/04
, G01N 25/20
, G01N 27/72
, G01R 33/12
G01N 25/00 K
, G01N 5/04 C
, G01N 25/20 A
, G01N 25/20 F
, G01N 27/72
, G01R 33/12 Z
