特許

J-GLOBAL ID：200903056199202368

電子線露光装置

発明者： 内田 真司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-121430
公開番号（公開出願番号）：特開2005-310808
出願日： 2004年04月16日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【課題】 磁場を発生しない自重補償機構と自重補償機構の自重支持力を調整できる支持力調整手段を備えることで、ステージ重量を増加させることなくステージから電子線に及ぼす磁気的外乱(漏れ磁場)を低減して、電子線の描画位置精度を向上させることを目的とする。【解決手段】 複数個の電磁石により少なくとも鉛直方向とその他1軸方向以上に駆動されるステージであって、前記ステージは試料を搭載して試料を移動させるステージであり、磁場を発生しないで機械的な剛性で前記ステージの自重を支持する自重補償機構を備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数個の電磁石により少なくとも鉛直方向とその他1軸方向以上に駆動されるステージであって、 前記ステージは試料を搭載して試料を移動させるステージであり、 磁場を発生しないで機械的な剛性で前記ステージの自重を支持する自重補償機構を備えることを特徴とする電子線露光装置。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305

FI (4件)：

H01L21/30 541L ,  H01J37/20 A ,  H01J37/20 D ,  H01J37/305 B

Fターム (6件)：

5C001AA01 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001CC06 ,  5C034BB06 ,  5F056EA14

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ステージの位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-369519   出願人：株式会社荏原製作所
• 特登録3456307号公報