特許

J-GLOBAL ID：200903056224748028

バルク弾性波共振器、フィルタ回路、及びバルク弾性波共振器の製造方法

発明者： 山内 規裕 ,  熊 四輩 ,  白井 健雄 ,  早崎 嘉城
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (3件)： 小谷 悦司 ,  伊藤 孝夫 ,  樋口 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-121300
公開番号（公開出願番号）：特開2007-295307
出願日： 2006年04月25日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

【課題】絶縁膜の膜厚を薄くして寄生容量を増大させなくとも、上部電極の抵抗値の増大を抑制できるBAW共振器を提供する。【解決手段】基板10と、基板10の上面11に設けられたミラー多層膜20と、ミラー多層膜20の上面21に設けられた下部電極30と、下部電極30の上面31に設けられた圧電膜40と、上面51が圧電膜40の上面41と面一になるように下部電極30の上面31に設けられた絶縁膜50と、絶縁膜50の上面51及び圧電膜40の上面41に設けられた上部電極60とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板上に設けられた下部電極と、 前記下部電極上に設けられた圧電膜と、 前記下部電極上又は前記圧電膜上に、上面が前記圧電膜の上面と面一となるように設けられた絶縁膜と、 前記圧電膜及び絶縁膜の上面に設けられた上部電極とを備えることを特徴とするバルク弾性波共振器。

IPC (8件)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/54 ,  H03H 9/58

FI (9件)：

H03H9/17 F ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H03H3/02 B ,  H03H9/54 Z ,  H03H9/58 A

Fターム (16件)：

5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC08 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE06 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF02 ,  5J108FF04 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108MM04 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電共振子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-371649   出願人：京セラ株式会社