特許
J-GLOBAL ID：200903078066619111

圧電共振子

発明者：
吉村 健一

吉村 健一 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-371649
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185985
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：
【要約】【課題】従来の圧電共振子に比べ、高周波数帯で使用でき、電気機械結合係数の大きい圧電共振子を提供する。【解決手段】振動空間Aを有する基体1と、該基体1表面に形成され、振動空間Aを被覆する支持膜2と、圧電磁器膜5の両面に電極4、6を形成してなり、支持膜2の振動空間Aと反対側の面に形成された共振素子3とを具備し、圧電磁器膜5がPbおよびTiを含む圧電材料よりなり、支持膜2が窒化珪素よりなるとともに、圧電磁器膜5の膜厚をtp、支持膜2の膜厚をts、厚み縦振動モードの振動次数をnとするとき、支持膜2の膜厚tsと圧電磁器膜5の膜厚tpとの比ts/tpが、5.1n-6.2≦ts/tp≦7.2n-4.3(但し、nが1のときは、0<ts/tp)の関係を満足する。
請求項（抜粋）：
振動空間を有する基体と、該基体表面に形成され、前記振動空間を被覆する支持膜と、圧電磁器膜の両面に電極を形成してなり、前記支持膜の前記振動空間と反対側の面に形成された共振素子とを具備する圧電共振子であって、前記圧電磁器膜がPbおよびTiを含む圧電材料よりなり、前記支持膜が窒化珪素よりなるとともに、前記圧電磁器膜の膜厚をtp、前記支持膜の膜厚をts、厚み縦振動モードの振動次数をnとするとき、前記支持膜の膜厚tsと前記圧電磁器膜の膜厚tpとの比ts/tpが5.1n-6.2≦ts/tp≦7.2n-4.3(但し、nが1のときは、0<ts/tp)の関係を満足することを特徴とする圧電共振子。
IPC (3件)：
H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187
FI (3件)：
H03H 9/17 F ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 C
Fターム (13件)：
5J108AA01 ,  5J108AA07 ,  5J108BB04 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108CC12 ,  5J108CC13 ,  5J108DD01 ,  5J108DD06 ,  5J108DD08 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13
引用特許：
審査官引用 (3件)

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