特許

J-GLOBAL ID：200903056224800976

超音波変位測定装置及び超音波変位測定方法

発明者： 今野 和彦 ,  西平 守正
出願人/特許権者： 独立行政法人 科学技術振興機構
代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  野河 信久 ,  和田 祐造 ,  須田 浩史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-358525
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191145
出願日： 2002年12月10日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

【課題】波長より広い範囲にわたって変化する変位を、波長より十分微小な分解能をもって高精度で計測すること。【解決手段】発振手段11、12から出力された信号を入力して超音波を送波する送波用素子31と、超音波を受波して信号を出力する受波用素子41と、発振手段から出力された信号の位相を互いに異なる大きさだけシフトした信号を生成する位相シフト手段61と、位相がシフトされた複数の信号と受波用素子からの出力信号の位相差に基づき発振手段から出力された信号と受波用素子から出力された信号との位相差を演算する位相差演算手段81と、第1信号と第2信号のそれぞれに関する発振手段から出力された信号と受波用素子から出力された信号との位相差、第1信号と第2信号の各周波数、及び送波用素子と受波用素子間での音速に基づき、対象物の変位を演算する変位演算手段101とによる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

送波用素子から超音波を送波して、対象物に接続している受波用素子で該超音波を受波することにより、該対象物の変位を測定する超音波変位測定装置において、 異なる周波数の第1信号及び第2信号のいずれかを発振して出力する発振手段と、 前記発振手段から出力された前記信号を入力して超音波を送波する送波用素子と、 送波された前記超音波を受波して信号を出力する受波用素子と、 前記発振手段から出力された前記信号の位相を互いに異なる大きさだけシフトした信号を生成する位相シフト手段と、 位相がシフトされた複数の前記信号と前記受波用素子からの出力信号の位相差に基づいて、前記発振手段から出力された前記信号と前記受波用素子から出力された信号との位相差を演算する位相差演算手段と、 前記第1信号と前記第2信号のそれぞれに関する、前記発振手段から出力された前記信号と前記受波用素子から出力された信号との前記位相差、前記第1信号と前記第2信号のそれぞれの周波数、及び前記送波用素子と前記受波用素子間での音速に基づいて、前記対象物の変位を演算する変位演算手段とを具備する超音波変位測定装置。

IPC (1件)：

G01B17/00

FI (1件)：

G01B17/00 Z

Fターム (12件)：

2F068AA02 ,  2F068DD12 ,  2F068FF02 ,  2F068FF25 ,  2F068HH01 ,  2F068KK15 ,  2F068PP05 ,  2F068PP11 ,  2F068QQ05 ,  2F068QQ12 ,  2F068QQ34 ,  2F068QQ43

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 超音波距離測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-340543   出願人：富士通株式会社
• 特開昭60-218086