特許
J-GLOBAL ID：200903056284428855

イオンビーム発生装置のプラズマ加熱方法

発明者：
丹波 護武

丹波 護武 について


出願人/特許権者：
理化学研究所

理化学研究所 について


代理人 (1件)： 堀田 実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-326060
公開番号（公開出願番号）：特開平8-185821
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 多価イオンの温度をあまり上昇させることなく、電子温度を上昇させることができ、かつ装置全体を小さくできて電子を高温まで加熱でき、これにより多価イオンの割合を一層大きくできる、イオンビーム発生装置のプラズマ加熱方法を提供する。【構成】 ガスを封入した状態で真空容器24内を真空排気し、高電圧小電流を第1アノード26及び第2アノード28とカソード27間に印加して、第1アノードとカソードの間にグロー放電31を発生させ、次いで、高電圧低電流を低電圧大電流に切り換えて、グロー放電を第2アノードとカソードの間のアーク放電に転移させ、このアーク放電により金属プラズマ32を形成し、次いで、パルス電源装置48により低電圧大電流に大電流パルス電流を重畳させて、金属プラズマに大電流をパルス的に流して金属プラズマを加熱する。
請求項（抜粋）：
仕切り板で第1チャンバーと第2チャンバーに区分された真空容器と、第1チャンバー内に配置され負に印加されるカソードと、該カソードに対向する位置の前記仕切り板に設けられ第1貫通孔を有する第1アノードと、カソードと第1貫通孔を結ぶ軸線上の第2チャンバー壁に設けられ第2貫通孔を有する第2アノードと、該第2アノードに隣接してカソードと反対側に設けられ金属プラズマからイオンビームを発生させるイオンビーム抽出電極と、を備えたイオンビーム発生装置のプラズマ加熱方法において、ガスを封入した状態で真空容器内を真空排気し、次いで、高電圧小電流を第1アノード及び第2アノードとカソード間に印加して、第1アノードとカソードの間にグロー放電を発生させ、次いで、前記高電圧低電流を低電圧大電流に切り換えて、前記グロー放電を第2アノードとカソードの間のアーク放電に転移させ、このアーク放電により金属プラズマを形成し、次いで、前記低電圧大電流に大電流パルス電流を重畳させて、前記金属プラズマに大電流をパルス的に流して金属プラズマを加熱する、ことを特徴とするイオンビーム発生装置のプラズマ加熱方法。
IPC (3件)：
H01J 37/08 ,  H01J 27/08 ,  H05H 1/48
引用特許：
審査官引用 (3件)

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