特許
J-GLOBAL ID：200903056292367164
光偏向素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-033969
公開番号（公開出願番号）：特開2000-330143
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】1つの基板を用いて、光軸調整を必要とせず小型で、低駆動電圧、高光利用効率、かつ高速に光ビームを2次元偏向することを可能とする。【解決手段】下部電極としての導電性基板1上に形成された薄膜光導波路3上面には、直角三角形状の上部電極5、四角形状の透明上部電極10が形成され、透明上部電極10の上面には、出射用直角プリズム9が固定されている。上部電極5と導電性基板1との間、及び透明上部電極10と導電性基板1との間には、電圧が印加される。上部電極への電圧印加で水平偏向が行われ、透明上部電極への電圧印加で垂直偏向が行われる。
請求項（抜粋）：
下部電極となる導電性または半導電性の単結晶基板上、または表面に下部電極となる導電性または半導電性の単結晶薄膜が形成された基板上に設けられたエピタキシャルまたは単一配向性の電気光学効果を有する光導波路と、前記光導波路上に配置され、前記単結晶基板または単結晶薄膜との間に、印加された電圧に応じて屈折率が変化すると共に前記光導波路を伝搬する光ビームを印加された電圧に応じて第1の方向に偏向するための領域を形成する光導波路内光ビーム制御用電極と、光導波路内の光ビームを前記第1の方向と交差する第2の方向に出射する出射用プリズムと、前記出射用プリズムと前記光導波路との間に配置され、前記単結晶基板または単結晶薄膜との間に、印加された電圧に応じて屈折率が変化すると共に印加された電圧に応じて前記出射用プリズムから出射される光ビームを前記第2の方向に偏向するための領域を形成する出射光ビーム制御用透明電極と、を含む光偏向素子。
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭60-125808
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光偏向素子
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-176939
出願人：富士ゼロックス株式会社
引用文献：
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