特許
J-GLOBAL ID：200903056294035444
バイモルフ駆動を有した振動マイクロミラー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
志賀 正武
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-260209
公開番号（公開出願番号）：特開2005-122131
出願日： 2004年09月07日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 大量生産的に製造可能なマイクロミラーを提供すること。【解決手段】 マイクロミラーであって、反射領域(19)を有した可動部(11)と;固定部(12)と;可動部(11)が振動する軸(13)を具現している2つのトーションアーム(14)と;を具備し、軸(13)が、可動部(11)の質量中心(M)からオフセットされた位置において可動部(11)を通過するものとされ、各トーションアーム(14)が、固定部(12)に対してバイモルフ駆動手段(15)を介して連結された一端部を有し、バイモルフ駆動手段(15)が、励起の作用下において体積および/または形状を変化させ得るような能動材料から形成された部材(15.3)と、この部材(15.3)と協働する能動的フレキシブル構造(15.2)と、を有している。【選択図】 図4A
請求項（抜粋）：
マイクロミラーであって、
反射領域(19)を有した可動部(11)と;
固定部(12)と;
前記可動部(11)から延出されているとともに、前記可動部(11)が振動する軸(13)を具現している、2つのトーションアーム(14)と;
を具備し、
前記軸(13)が、前記可動部(11)の主面に対して略平行なものとされ、
前記軸(13)が、前記可動部(11)の質量中心(M)からオフセットされた位置において前記可動部(11)を通過するものとされ、
前記各トーションアーム(14)が、前記固定部(12)に対してバイモルフ駆動手段(15)を介して連結された一端部を有し、
このようなマイクロミラーにおいて、
前記バイモルフ駆動手段(15)が、固体積層体(15.1)を備え、
この固体積層体(15.1)が、各トーションアーム(14)に関して、成膜された層またはアドオン層を有するものとされ、
前記固体積層体(15.1)が、励起の作用下において体積および/または形状を変化させ得るような能動材料から形成された部材(15.3)と、この部材(15.3)と協働する能動的フレキシブル構造(15.2)と、を有していることを特徴とするマイクロミラー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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マイクロ振動ミラー
公報種別：公表公報
出願番号：特願2000-588635
出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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