特許
J-GLOBAL ID：200903099309345195

マイクロ振動ミラー

発明者：
ファルク ヘルマン

ファルク ヘルマン について


出願人/特許権者：
ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング

ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング について


代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-588635
公開番号（公開出願番号）：特表2002-532749
出願日： 1999年11月24日
公開日（公表日）： 2002年10月02日
要約：
【要約】本発明は、片持ち式の鏡面(11)を有し、該鏡面(11)に装着された少なくとも1つの捩り桁(12,12′)によって形成された少なくとも1本の捩り軸線(19)を介して、前記鏡面(11)を少なくとも区域的に囲む支持体(13)と前記鏡面(11)を連結している形式のマイクロ振動ミラーを提案する。その場合少なくとも1つの捩り桁(12,12′)と支持体(13)との間には、捩り軸線(19)を中心として鏡面(11)の捩り振動を誘発する曲げ振動を行なう曲げ桁(14,14′)が位置している。この構成手段に基づいて、適当な周波数において曲げ振動の小さな振幅によって、捩り振動の大きな振幅が得られる。
請求項（抜粋）：
片持ち式の鏡面(11)を有し、該鏡面(11)に装着された少なくとも1つの捩り桁(12,12′)によって形成された少なくとも1本の捩り軸線(19)を介して、前記鏡面(11)を少なくとも区域的に囲む支持体(13)に前記鏡面(11)が連結されている形式のマイクロ振動ミラーにおいて、少なくとも1つの捩り桁(12,12′)と支持体(13)との間に、捩り軸線(19)を中心として鏡面(11)の捩り振動を誘発する曲げ振動を行なう曲げ桁(14,14′)が位置していることを特徴とする、マイクロ振動ミラー。
IPC (4件)：
G02B 26/08 ,  B06B 1/02 ,  B06B 1/06 ,  B81B 3/00
FI (4件)：
G02B 26/08 E ,  B06B 1/02 Z ,  B06B 1/06 Z ,  B81B 3/00
Fターム (11件)：
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC07 ,  2H041AZ06 ,  2H041AZ08 ,  5D107BB09 ,  5D107CC01 ,  5D107CC10 ,  5D107CC13 ,  5D107CC20 ,  5D107CD05
引用特許：
審査官引用 (1件)
引用文献：
審査官引用 (5件)
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