特許

J-GLOBAL ID：200903056310241718

洗浄方法

発明者： 山田 俊郎 ,  漆間 貴史 ,  後藤 博美
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
代理人 (1件)： 内田 幸男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-248580
公開番号（公開出願番号）：特開平10-071372
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】 被洗浄物を炭化水素を主成分とする洗浄溶剤と接触させ、次いで該炭化水素が付着した被洗浄物をフッ素化溶媒を主成分とするリンス洗浄浴に浸漬してリンス洗浄する洗浄方法において、リンス洗浄浴から被洗浄物を引上げる時に炭化水素洗浄溶剤が再付着することを防止して、リンス効果を高める。【解決手段】 高純度フッ素化溶媒をリンス洗浄浴へ供給して、リンス洗浄浴が相分離を起さないようリンス洗浄浴を均一に保持する。

請求項（抜粋）：

被洗浄物を炭化水素を主成分とする洗浄溶剤と接触させ、次いで該炭化水素が付着した被洗浄物をフッ素化溶媒を主成分とするリンス洗浄浴に浸漬してリンス洗浄することからなる洗浄方法において、高純度フッ素化溶媒をリンス洗浄浴へ供給して、リンス洗浄浴が相分離を起さないよう均一に保持することを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。

IPC (3件)：

B08B 3/04 ,  C11D 7/30 ,  C11D 7/50

FI (3件)：

B08B 3/04 B ,  C11D 7/30 ,  C11D 7/50

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 多重溶剤クリーニング系
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-500986   出願人：アライドシグナル・インコーポレーテッド