特許

J-GLOBAL ID：200903056342017836

有機薄膜ELデバイス及びその製造方法

発明者： 宇津木 功二 ,  為我井 昌司
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-115377
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296819
出願日： 2000年04月17日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】 真空蒸着法において、基板上にパターンマスクを使って電極ラインを百ミクロンといった微細ピッチで、形成・分離する高精細有機薄膜ELデバイスとその製造方法を提供する。【解決手段】 電極ラインが、複数の電極15a,15bの一部が互いに重なりあっていることを特徴とする有機薄膜ELデバイスであり、電極ライン形成用のパターンマスクの開口部は撓みや歪を考慮した構造にし、前記パターンマスクを移動させて一本の電極ラインを複数回の蒸着で形成する。

請求項（抜粋）：

一対の電極間に少なくとも発光層を含んだ有機薄膜が形成され、かつ前記電極の少なくとも一方が真空蒸着により形成され、かつ前記電極がライン形状をなした有機薄膜ELデバイスにおいて、有機薄膜上の前記電極ラインが、複数の電極の一部が互いに重なりあって形成されてなることを特徴とする有機薄膜ELデバイス。

IPC (7件)：

G09F 9/30 343 ,  G09F 9/30 365 ,  C23C 14/24 ,  G09F 9/00 342 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/26

FI (7件)：

G09F 9/30 343 Z ,  G09F 9/30 365 Z ,  C23C 14/24 G ,  G09F 9/00 342 Z ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/26 Z

Fターム (50件)：

3K007AB00 ,  3K007AB02 ,  3K007AB04 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18 ,  4K029HA03 ,  4K029KA01 ,  5C094AA03 ,  5C094AA05 ,  5C094AA07 ,  5C094AA08 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094AA48 ,  5C094AA55 ,  5C094BA12 ,  5C094BA29 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094FA01 ,  5C094FB01 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094GB10 ,  5G435AA00 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435CC12 ,  5G435HH12 ,  5G435KK05

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 真空成膜用マスクおよびそれを用いた薄膜素子製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-269475   出願人：スタンレー電気株式会社
• 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-032043   出願人：パイオニア株式会社