特許
J-GLOBAL ID:200903056350681885

高エネルギー密度のレーザー光線により少なくとも2個の素子を加熱する方法と装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 丹羽 宏之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-386965
公開番号(公開出願番号):特開2001-260232
出願日: 2000年12月20日
公開日(公表日): 2001年09月25日
要約:
【要約】【課題】 レーザー光線により少なくとも2個の素子を加熱して素子を接合しあるいは分離する方法およびその装置を提供する。【解決手段】 プラスチックあるいはプラスチックと他の物質で作られた加工部材をカーテン状のレーザー光線により接合あるいは分離する方法と装置を提供する。レーザー不透過性物質で作られたマスクがレーザー源と加工部材の間に配設される。少なくとも2個のダイオードレーザーのレーザー光線が収束され、続いて異なるレーザー線長がズーム光学装置により発生する。ビームスプリッターを介して、マスクの表面に垂直に整列された第1レーザー光線に垂直に配列された少なくとも1個の第2レーザー光線が接合され生成するレーザー光線はマスクに指向される。この方法と装置は個別のレーザーの出力がそれ自身は不十分であるにも拘らず適切なエネルギー密度を提供線長の柔軟な調節を可能にする。
請求項(抜粋):
放射源であるレーザー源(1)と加工部材(4,5)の間に配設された放射線不透過性物質で作られたマスク(3)と、前記マスク(3)から移動された区域(9)と、前記区域(9)を通過してマスク(3)の下に配設された加工部材(4,5)の選択された加熱区域(6)に入るようにされたレーザー放射と、照射で加熱され従って加工部材(4,5)の接合あるいは分離に導かれるすべての加熱区域(6)と、1個もしくはいくつかのレーザー光線と加工部材(4,5)の間で行われる相対運動とを持ちレーザー光線(2)による少なくとも2個の加工部材(4,5)の選択的加熱のための一つの方法であって、ここで高エネルギー密度を発生するために少なくとも2個のダイオードレーザー(1 ́-1′′′′)からのレーザー光線が加熱区域(6)に収束され異なったレーザー線長(8)でズーム光学装置(12)により連続して発生されることを特徴とする方法。
IPC (4件):
B29C 65/16 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/00 310 ,  B23K 26/06
FI (6件):
B29C 65/16 ,  B23K 26/00 G ,  B23K 26/00 310 N ,  B23K 26/06 E ,  B23K 26/06 J ,  B23K 26/06 A
引用特許:
審査官引用 (7件)
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