真空アーク蒸発源

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安田敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-398223
公開番号（公開出願番号）：特開2003-193219
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】数100A〜1000A以上の大電流放電を行ってもアークを安定して蒸発面上の所定のエリアに閉じ込め制御可能とする真空アーク蒸発源を提供する。【解決手段】柱状蒸発物質の蒸発面に、柱状蒸発物質の軸方向に伸びる略長円状の放電領域にアークスポットを閉じ込めるように、磁力線の角度とアーク電流値を設定した磁場発生源を備えている。

請求項（抜粋）：

柱状蒸発物質の蒸発面を含む領域に磁界を形成して放電する真空アーク蒸発源であって、柱状蒸発物質の蒸発面に、柱状蒸発物質の軸方向に伸びる略長円状の放電領域にアークスポットを閉じ込めるように、磁力線の角度とアーク電流値を設定した磁場発生源を備えていることを特徴とする真空アーク蒸発源。

Fターム (3件)：

4K029DB08 , 4K029DD06 , 4K029EA09

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-234562
特開昭64-073072
被覆を有する物品
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-156569 出願人：マスココーポレーション

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